等離子廢氣處理設備主要由高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能足夠打開有害氣體分子的化學能,使之分解為單質(zhì)原子或無害分子;等離子體中包含大量的高能電子,正負離子,激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的自由基,它使活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合,在電場作用下,使臭氣分子處于激發(fā)狀態(tài)。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合時,臭氣分子的化學鍵斷裂,直接分解成單質(zhì)原子構成無害氣體分子。同時產(chǎn)生的大量OH,O等活性基和氣體性很強的O,與有害氣體分子發(fā)生化學反應,生成無害產(chǎn)物。
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